真空质谱计正文 利用质谱学原理测量真空系统或真空器件中残余气体成分或分压强的仪器，又称分压强计。真空质谱计一般由离子源、质量分析器和离子检测器三个部分组成。被分析的样品在离子源中被电离成离子，离子经... [阅读全文]
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