通过机械、物理或化学等手段在特定容器中获得真空的专门技术。用以产生、改善和维持真空的装置称为真空泵。真空获得技术在真空电子器件工艺、固态电子器件工艺、集成电路工艺和各种真空设备中得到广泛应用。 真空泵... [阅读全文]
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