真空测量技术 正文 测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度（即真空度）的技术。真空测量技术在真空电子器件工艺、固态电子器件工艺、集成电路工艺、表面分析技术等领域有广泛应用。真空度常用容器中气体的总压... [阅读全文]
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