波面干涉仪正文 用以检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的一种精密仪器。其测量精度一般为λ/10～λ/100, λ为检测用光源的平均波长。常用的波面干涉仪为泰曼干涉仪和斐索干涉... [阅读全文]
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