各向同性湿式蚀刻

　使用经醋酸稀释过的氟硝酸蚀刻液，可做硅的各向同性蚀刻。 　　以湿式工艺进行硅的各向同性蚀刻时，将氟酸（HF）与硝酸（HNO3）混合成为氟硝酸，再用醋酸加以稀释的蚀刻液。如果使用的蚀刻液氟酸配比较高，... [阅读全文]